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    國產質量流量計

    更新時間:2019-08-19

    簡要描述:

    國產質量流量計耐壓100bar(產品在50MPa壓力下通過打壓測試),可測量腐蝕性氣體,結構緊湊,重復性高,響應時間快,性價比高,可廣泛用于設備配套。Z大流量可測到100SLPM,質量流量控制器的Z大流量可測到100SLPM。

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    一、國產質量流量計產品特點

    · 測量質量流量

    · 無需溫度和壓力補償

    · 結構緊湊

    · 精度高

    · 工作壓力高

    · 響應時間快

    · 重復性高

    二、國產質量流量計產品簡介

    本體耐壓100bar,可測量腐蝕性氣體,結構緊湊,重復性高,響應時間快,性價比高,可廣泛用于設備配套。氣體大流量可測到100SLPM,質量流量控制器的大流量可測到100SLPM。

    三、國產質量流量計技術參數

    型號

    質量流量計/質量流量控制器

    流量范圍(N2)

      10SCCM~100SLPM

      響應時間

      <2 sec

    精準度

      ≤±1% FS

      重復精度

      ±0.2% FS

      輸入/輸出信號

    0~5 Vdc OR 4~20 mA

    供電電源

      ±15 Vdc or 24 Vdc, 300mA

     耐壓

      <100bar

    工作環境溫度

      0~50 °C

    漏率

      1*10E-9 atm cc/sec

    使用范圍

      2 ~ 100%

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