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    Linetech質量流量計

    更新時間:2019-06-14

    簡要描述:

    Linetech質量流量計廣泛應用于:真空鍍膜設備、光電產業到工業工具的表面鍍膜、SPUTTER磁控濺射臺、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等離子刻蝕、離子注入,直拉式晶爐,精密半導體、燃料電池、氣調儲存保鮮相關設備、生物反應器、生物過程控制器、大學實驗室、研究所、食品及制藥產業、醫療設備、氣相色譜儀等相關行業。

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     Linetech質量流量計廣泛應用于:真空鍍膜設備、光電產業到工業工具的表面鍍膜、SPUTTER磁控濺射臺、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等離子刻蝕、離子注入,直拉式晶爐,精密半導體、燃料電池、氣調儲存保鮮相關設備、生物反應器、生物過程控制器、大學實驗室、研究所、食品及制藥產業、醫療設備、氣相色譜儀等相關行業。

     

     Linetech質量流量計主要參數:

     

    流量范圍:               0.005-1000(slpm)

    響應時間:               ≤2

    精    度:               ≤1%0.2%

    重 復 性:               ±0.25

    輸出信號:               0-5vdc或4-20mA

    供電電壓:               15-28vdc

    溫度范圍:               0-50℃

     

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